潔淨室塵埃粒子數測量的（de）方法介紹

潔淨室潔淨度－塵埃粒子數測量{塵埃粒子計（jì）數器的（de）選（xuǎn）型}
簡易手（shǒu）持式（shì）激光粒子計數器（qì）

限於體量和重量，手持式（shì）激光（guāng）粒子計數器采樣流量一（yī）般為每分鍾0.1立方英尺（0.1cfm），即每分鍾2.83升（2.83L/m），其最（zuì）小粒徑通道一般為0.3μm。通常均可采用（yòng）電池或交流電工作。
這（zhè）類產品粒徑通道又可分為雙（shuāng）通道型，由於這類產品采樣空氣量小，測量精度相對較低，但隨檢（jiǎn）測（cè）人（rén）員移動靈便，適用於各種潔淨（jìng）室的監測，判定過濾設備的效率（lǜ）和密封性。這類產品可存儲一定量的采樣數據，備有下（xià）載軟件，均不帶（dài）打印裝置。

便攜式激光粒子計數器
這類產品較手持式的（de）機（jī）構（gòu）相對複雜些，測量精度較高，因而體量、重量也較大，一般用於潔淨室認證檢（jiǎn）測，通常有小流量與大流量之分（fèn），但均為多通道，根據（jù）所測試潔淨室的級別不同對所需機型可有所選擇。這類產品多數內置打印機，也有的采取數據存儲後輸出打印（yìn）方式。

用於潔淨（jìng）環境實時（shí）監控的激光粒子計數器及相關設備
為了在潔淨室運行過程中，及時了（le）解與判定潔淨室環境，特（tè）別是一些關鍵區域或部位所處的狀態，是否依然和始終符合生產或（huò）科研所規定的技術指（zhǐ）標，潔淨室（shì）管理者需要對其主要技術指標進行實時監控或周期性（xìng）監測。一些高級別潔淨室為此對一些（xiē）關鍵指標：潔淨度、溫度、濕（shī）度和惰性氣體等設置了（le）連續巡（xún）查（chá）的裝置，以便隨時考核潔淨室的受控狀態。

遠程空氣顆粒計數儀特（tè）點：
大流量（liàng）1.0cfm（28.3升/分（fèn））和（hé）0.1cfm（28.3升（shēng）/分），可最小監控0.2μm粒徑顆粒，2個標準（zhǔn）粒徑（jìng）尺（chǐ）寸通道
市場上係列遠程空氣顆粒計數儀普（pǔ）遍性能：
◆監控粒徑0.2μm-10μm（在此範圍可選通道）
◆可集成進入（rù） FMS係統（tǒng）（計算機集中（zhōng）控製和管理的製造係統）
◆維護簡便和方便（biàn）校驗數據輸出以太網和模擬通訊方式
◆內置流量傳感器，流量偏差時能提早報警。

另一種順序監測係統（tǒng）則（zé）僅在潔淨室各關鍵部位設置空氣采樣口，通（tōng）過氣溶膠導管將所設置的多個采樣口與配置（zhì）有激光粒子計數器及計算機的順序監測係統相連。由計算機控製激光粒子計數器順序與各（gè）采樣（yàng）口的氣溶膠導管相通，由氣泵采入與之相通的空氣采樣口處的空氣，進行粒徑與數量的測量，並將結果錄入計算機中。

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