空氣淨化(huà)方法和潔(jié)淨室的控管項目(mù)
潔淨室最主要之作用在於控製產品(如矽芯片(piàn)等(děng))所接觸之大氣(qì)的潔淨(jìng)度日及溫濕度(dù),使產品能在一個良好之環境空間中生產、製造,此(cǐ)空間17c.com稱之為潔淨室。按照國際慣例,無塵淨化級別主要是根據每立方米空氣中(zhōng)粒子直徑大(dà)於劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所(suǒ)謂無塵並非100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控製在一個非常微量的單位上。當(dāng)然這個標準中符合灰(huī)塵標準的顆(kē)粒相對於17c.com常(cháng)見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對於光學構造而(ér)言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大(dà)的負(fù)麵影(yǐng)響,所以(yǐ)在光學構造產品的生(shēng)產上,無塵是(shì)必然的要求。
潔淨室 每立方米將小(xiǎo)於0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控(kòng)製在3500個以下,就達到了國(guó)際無塵標(biāo)準的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標(biāo)準對於灰塵(chén)的要求高於(yú)A級,這樣的高標主要被應用在(zài)一些等級較高芯片生產上。5uM及以下的微塵數量被嚴格控製在每立(lì)方米1000個以內,這也就是業(yè)內俗稱的1K級別。
潔淨室控管項目
1、能(néng)除去(qù)空氣中飄遊之微塵粒子。 2、能防止微塵粒子之產生。
3、溫度和濕度之控製。 4、壓(yā)力之調節。 5、 有害氣體之排除。
6、結構物與隔間之氣密性。 7、靜電之(zhī)防(fáng)製。 8、電磁幹擾預防。
9、安(ān)全因(yīn)素之考慮。 10、節能之考(kǎo)量。
潔淨室空氣淨化方法
1 、整體淨化:可分為(wéi)層流型和湍流型。層流是指空氣由一側(cè)全麵地以同速流向另一側,使室(shì)內產生的塵粒或細菌(jun1)不會向四周擴散而被平推出室外,而達(dá)到好的除菌效(xiào)果。
( 1 )高效過濾除菌技術:空氣潔淨主要靠高效或超高效過濾設備,向特(tè)定的環境內輸送潔淨空氣並能保持空氣的潔淨度。過濾潔淨原理:①網截阻留;②篩孔阻留;③靜電吸引阻留;④慣性碰撞和布朗運動阻(zǔ)留。因此,過濾(lǜ)潔淨技術是一種綜合作用的結果。
( 2 )濾(lǜ)材結構:生物潔淨室所用濾(lǜ)材級別多數為高效或超高效濾材,所用濾材(cái)有:玻璃棉製濾材、高級紙漿製濾材、石(shí)棉纖維濾材、過氯乙烯纖(xiān)維濾材等。高效(xiào)濾材對空氣中 0.5 μ m 的顆粒的阻(zǔ)留率能達到 90%~99% ,超高效(xiào)濾材可阻留 0.3 μ m 的顆粒 99.9% 以(yǐ)上。
2 、局部淨化
( 1 )潔淨(jìng)層流罩:潔淨(jìng)層流罩是醫院局部空氣淨化裝置。一般可構成(chéng)垂直層流方式,四周用透明圍幕。整個罩內可保(bǎo)持(chí)高潔(jié)淨(jìng)度(萬級至百級(jí))空氣。這種潔淨層流罩可用(yòng)於免疫功能低下病人的治療(liáo)保護,所以也稱無菌病床層流罩。
( 2 )淨化操作台:采用水平或垂直層流方式淨化箱體內的(de)空氣,可使操作台內淨化達到很高級別。
( 3 )靜電吸附除菌淨(jìng)化技術:靜電吸附除菌是利用工業電(diàn)除塵的原理,在小型化技術方麵有所創新。①采用細線放(fàng)電極與蜂巢狀鋁箱收集極形成級線裝置(zhì);②采(cǎi)用鏡象力荷電吸附作用。
目前有一種三級淨化裝置,即預(yù)過濾 - 高效過濾 - 活性炭吸附(fù),組合式正離子靜電吸附除菌,並采(cǎi)用大風量空氣淨化,以保證室內空(kōng)氣淨化次數,較好(hǎo)地解決了醫院重點部門如手術室、 ICU 、母嬰病房、血液(yè)透析(xī)室(shì)等(děng)有人情況下(xià)的空氣持續消毒問題,可使醫(yī)院(yuàn)室內空氣的淨化潔淨度達到 10 萬級 ~1 萬級。
( 4 )負離子淨化技(jì)術:負離子是一種帶負電的(de)化學基團,能發生可逆性變化,存(cún)在時間極短,本身並無殺(shā)滅微生物的能力(lì),主要是靠帶電離子與空氣中的微粒特別是微生物顆粒結合,形成多個顆粒凝聚變大從而迅速沉降,使空氣達(dá)到淨化的目的。空氣中負離子隻(zhī)有在具備某些化學性質時,如活性(xìng)氧離子等,它(tā)們才具有侵害(hài)蛋白質的能力(lì)從而殺滅微生(shēng)物,因此負離子對空氣淨化的(de)能力(lì)比較有(yǒu)限,對空氣中微生物粒子清除率隻能達到 70%~90% 。
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