塵埃粒子計數器的介紹與(yǔ)發展

2015-01-20 09:20:19 admin
空氣中(zhōng)顆粒物(wù)汙染是許多行業(yè)生產及加工工藝中主要的汙染來源,準確評(píng)價空氣潔淨度已經成為(wéi)許多(duō)行業生產和產品檢測的要求。如在電子行業及芯(xīn)片製造工業中,氣體(tǐ)中微小(xiǎo)顆粒物的沉積就會造成電氣不良特(tè)性甚至更大的破壞。特(tè)別是近年來芯片線寬已經(jīng)達到微(wēi)米和亞(yà)微(wēi)米級,這 就對廠房內的空氣潔淨度提出了更高的要求。

 

    另外,在現代醫學與藥物及生物工程(chéng)中(zhōng),包括我國在內的世界各國製定(dìng)實施的“藥品生產質量管理規(guī)範GMP”中也著 重對藥品生產過程中空氣中的顆粒物潔淨(jìng)度提(tí)出了要(yào)求。特別是隨(suí)著《國家中長期科學和技(jì)術發展規劃綱要》的貫徹執行,作為16個(gè)重大發展專項的核(hé)心電子器 件(jiàn)、高(gāo)端通用(yòng)芯片、重大新藥創製將會得到快速發展,這就使得(dé)顆(kē)粒計(jì)數測量和監測變得更加迫切。

  塵埃粒子計(jì)數器就是用於測量潔淨環境中單位體積內塵埃(āi)粒子數和粒徑(jìng)分布的儀器。它(tā)可廣泛(fàn)應用於為藥檢所、血液中心、防疫站、疾控中心、質量監督所等權威機構,以及生物、製藥(yào)、半導體(tǐ)、光學或精密機械加工等生(shēng)產企業。

  據估計,我國現有的塵埃粒子計數器生產廠(chǎng)家有10餘家,國(guó)內使用(yòng)的台件數量應不少於3萬台,這些廠家及(jí)用戶具有很(hěn)強烈的校準檢測需(xū)求。要(yào)保 證空氣中塵(chén)埃顆粒測量的準(zhǔn)確性,首先(xiān)需要確保塵埃粒子計數器本身的(de)準確和可溯源。中(zhōng)國計(jì)量院完成的這項研究,建立了標準粒子計數(shù)器校準裝置,實(shí)現了對標準粒(lì)子計數器的粒子計數示值誤(wù)差、粒徑檔設定相對誤差、粒徑測量分辨力校準項目的檢定和校準,不確定度為(wéi)6.0%(k=2),優於國外相同計量校準裝置的技術水平。同時,他們還建(jiàn)立了工作級粒(lì)子計數器校準(zhǔn)裝置,實現對工作級(實驗室用、便攜式)粒子(zǐ)計數器粒子計數示值誤差的有效校準。


  
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